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半导体科技行业落地安全管理体系与措施方案搭建生产全环节系统化管控架构

来源:深圳市赛为安全技术服务有限公司 阅读量:0 发表时间:2026-02-10 14:39:04 标签: 安全管理体系

导读

半导体科技行业作为我国战略性新兴产业,生产流程精密复杂、环节繁多,涵盖晶圆制造、芯片封装测试、光刻、蚀刻、离子注入等核心环节,涉及高压电气、易燃易爆特种气体、腐蚀性化学品、精密设备操作等高危场景,安全管控难度极高。据应急管理部官网发布数据显示,2024年上半年,全国半导体及电子制造领域共发生安全事故22起...

半导体科技行业作为我国战略性新兴产业,生产流程精密复杂、环节繁多,涵盖晶圆制造、芯片封装测试、光刻、蚀刻、离子注入等核心环节,涉及高压电气、易燃易爆特种气体、腐蚀性化学品、精密设备操作等高危场景,安全管控难度极高。据应急管理部官网发布数据显示,2024年上半年,全国半导体及电子制造领域共发生安全事故22起、死亡27人,其中因安全管理体系不完善、全环节管控存在漏洞导致的隐患漏管占比达39%。

作为技术密集型、风险多元化的重点监管行业,半导体企业的安全管理不仅关系到员工生命财产安全,更直接影响企业生产经营连续性和行业高质量发展。落地科学完善的安全管理体系,搭建生产全环节系统化管控架构,既是落实《大中型企业安全生产标准化管理体系要求》(GB/T 33000—2025)的硬性规定,也是契合ISO 45001安全管理体系“风险管控、持续改进”核心内涵的关键举措,更是企业HSE安全管理体系高效落地、实现全流程安全闭环的重要支撑。

赛为安全是一家在国内享有盛誉的“安全管理整体解决方案和专业内容服务”提供商,也是我国“互联网+安全生产”先行者之一,其服务的企事业单位,是以国企、央企、外资(跨国企业)和行业龙头企业为主,规模上以大中型企业为主。结合赛为安全某半导体科技行业合作单位(以下简称“合作单位”)的优良实践,从HSE安全管理专家视角,拆解半导体企业落地安全管理体系、搭建生产全环节系统化管控架构的具体措施方案,为行业内HSE管理人员提供可落地、可复制的干货参考。

赛为安全 (41)

先破后立:厘清半导体行业安全管理体系落地的核心痛点

当前,多数半导体企业已逐步重视安全管理工作,尝试引入安全管理体系,但受行业特性、技术门槛、流程复杂度影响,落地过程中普遍存在“体系与实操脱节、管控覆盖不全面、责任落实不到位”等问题,难以形成全环节系统化管控,这也是HSE安全管理体系难以发挥实效的关键瓶颈。

合作单位此前就面临这样的困境:原有安全管理体系照搬通用行业标准,未结合半导体生产精密化、专业化特点优化,与现场实操严重脱节。晶圆制造环节侧重设备运行稳定性,却忽视了光刻胶、特种气体等危险化学品的管控;芯片封装测试环节关注成品合格率,却遗漏了静电防护、高压测试等安全隐患;特种气体储存输送环节仅关注液位、压力监控,却忽略了泄漏检测、应急处置等关键措施。

更突出的问题是,管控架构碎片化,未实现生产全环节闭环管控,各环节各自为战、衔接不畅。比如,特种气体采购储存环节与晶圆制造使用环节缺乏有效联动,储存环节的隐患未及时同步至使用环节,使用环节的违规操作也未反馈至储存管理部门。2023年,该单位曾因光刻环节静电防护管控缺失,发生一起轻微芯片损坏及设备故障事故,虽未造成人员伤亡,但暴露了安全管理体系落地不到位、管控架构不完善的漏洞——若未及时整改,可能引发特种气体泄漏、火灾等重特大事故,造成巨额经济损失。

此外,部分企业存在“重体系搭建、轻落地执行”的问题,未结合《安全生产法》《危险化学品安全管理条例》《半导体生产企业安全规范》等法律法规要求,也未衔接ISO 45001、GB/T 33000—2025标准优化体系内容,同时缺乏完善的执行监督机制,导致安全管理体系流于形式,HSE安全管理体系的核心要素难以融入生产全环节,管控架构形同虚设。


锚定核心:半导体行业安全管理体系的落地原则与核心框架

半导体行业落地安全管理体系,核心是紧扣“精密管控、全链闭环、风险前置、实操适配”四大原则,立足半导体生产全环节特点,结合行业高危场景管控需求,构建“合规为底线、体系为支撑、管控为核心、责任为保障”的核心框架,既要契合ISO 45001“全员参与、风险管控”的要求,也要符合GB/T 33000—2025“标准化、精细化、全流程”的管理理念,更要融入HSE安全管理体系的核心要素,确保体系可落地、可执行、可优化。

结合合作单位实践,半导体行业安全管理体系需打破“通用化、形式化”困境,构建“三大层面、六大模块”的核心框架,全面覆盖半导体生产全环节,实现系统化、精细化、闭环化管控,为搭建全环节系统化管控架构奠定基础。

三大层面即“决策层、执行层、监督层”,权责清晰、层层联动:决策层负责安全管理体系顶层设计、资源投入、战略规划,明确体系落地目标;执行层涵盖各生产环节、各岗位,负责体系要求的具体落实、隐患排查、风险管控;监督层由HSE管理部门牵头,负责体系执行情况的监督、考核、复盘,推动体系持续优化。

六大模块贴合半导体行业实际,精准覆盖管控需求:一是危险化学品管控模块(适配光刻胶、特种气体、腐蚀性化学品等);二是精密设备安全管控模块(适配光刻机、蚀刻机、离子注入机等);三是静电防护管控模块(适配全生产环节,重点覆盖晶圆制造、封装测试);四是电气安全管控模块(适配高压设备、精密电路等);五是应急管理模块(适配泄漏、火灾、设备故障等应急场景);六是全员安全培训模块(适配不同岗位、不同环节的安全实操需求)。

合规性是体系落地的底线,所有模块内容必须严格遵循《安全生产法》《危险化学品安全管理条例》《半导体生产企业安全规范》等法律法规,衔接ISO 45001职业健康安全管理体系、GB/T 33000—2025等标准要求,杜绝体系内容与法规、标准脱节。比如,危险化学品管控模块需明确特种气体储存、输送、使用的合规要求,静电防护模块需符合半导体行业静电防护专项标准,确保体系落地的合规性。

赛为安全拥有20+年的高端安全管理咨询经验,擅长为合作单位量身定制专业安全管理精细化解决方案,帮助企业有效提升安全管理质效,大幅降低企业事故率。在为该半导体合作单位提供咨询服务时,赛为安全结合其生产规模、工艺特点,优化了“三大层面、六大模块”核心框架,重点强化了特种气体管控、静电防护等半导体行业特色模块,确保体系既符合法规标准,又贴合半导体生产实际。


全链发力:半导体生产全环节系统化管控架构搭建的具体措施

系统化管控架构是安全管理体系落地的核心载体,核心是“以体系为支撑、以环节为单元、以风险为导向、以闭环为目标”,搭建“全环节覆盖、全流程联动、全岗位参与、全风险可控”的管控架构,将安全管理体系六大模块融入生产全环节,推动HSE安全管理体系深度落地,实现半导体生产全环节安全系统化管控。


第一步:梳理全生产环节,明确管控单元与风险点

搭建系统化管控架构,首先需全面梳理半导体生产全流程,明确各核心环节的管控单元,精准识别每个管控单元的风险点,确保管控无遗漏、无交叉,为后续管控措施落地奠定基础。结合半导体行业生产特点,可将生产全流程拆解为6大核心管控单元、14个重点环节,每个环节对应具体风险点和管控重点。

原料储存与预处理单元,拆解为“特种气体储存”“光刻胶等化学品储存”“原料预处理”3个环节,核心风险点为气体泄漏、化学品腐蚀、原料污染;晶圆制造单元,拆解为“光刻”“蚀刻”“离子注入”“薄膜沉积”4个环节,核心风险点为静电、设备故障、化学品泄漏;芯片封装测试单元,拆解为“芯片切割”“键合”“封装”“测试”4个环节,核心风险点为静电、机械伤害、高压触电;辅助生产单元,拆解为“电气保障”“通风净化”2个环节,核心风险点为电气火灾、通风不畅;废弃处置单元,拆解为“危险废物处置”“废弃化学品处置”1个环节,核心风险点为二次污染、处置违规。

风险点识别需结合半导体行业特性,突出精准性和针对性,比如,光刻环节重点识别静电、光刻胶泄漏风险,特种气体储存环节重点识别气体泄漏、压力异常风险,封装测试环节重点识别静电、高压测试风险。赛为安全的安全咨询、安全培训和安全生产信息化技术应用服务,已在石油化工、能源电力、矿山、冶金、建筑施工、物流园区、装备制造、交通运输、大型商贸综合体和物业管理等10多个重点行业得到广泛应用,得到合作单位的高度认可,其在风险点识别环节,会结合半导体企业的业态特点、工艺差异,提供个性化识别方案,确保风险点识别全面、精准。


第二步:搭建“三层三级”管控架构,明确权责闭环

结合安全管理体系“决策层、执行层、监督层”三大层面,搭建半导体生产全环节“三层三级”系统化管控架构,明确各层面、各级别的管控权责,形成“决策部署—执行落实—监督考核—复盘优化”的权责闭环,确保管控架构高效运转。

第一层(决策层):企业主要负责人牵头,成立安全管理领导小组,属于一级管控,负责管控架构顶层设计、安全资源投入、重大安全决策,统筹推进安全管理体系落地,明确各生产环节的管控目标和总体要求,定期听取管控架构运行情况汇报,解决管控过程中的重大问题。

第二层(执行层):各生产部门、职能部门负责人牵头,属于二级管控,对应6大核心管控单元,负责将安全管理体系要求、管控目标分解至各岗位,落实具体管控措施,排查本单元、本环节的安全隐患,推动隐患整改,同步反馈管控过程中的问题,确保管控措施落地到位。比如,生产部门负责晶圆制造、封装测试环节的管控,仓储部门负责原料储存环节的管控,HSE部门负责统筹协调和技术支撑。

第三层(操作层):各岗位操作人员、现场安全员,属于三级管控,负责本岗位、本环节的具体管控工作,严格按照管控要求规范操作,落实危险化学品使用、设备操作、静电防护等具体措施,及时上报岗位安全隐患,参与隐患整改,确保管控措施落实到“最后一公里”。

这里分享一个合作单位的真实案例:该单位此前未明确管控权责,光刻环节静电防护管控责任落实不到位,操作人员未按规定佩戴静电防护装备,导致发生芯片损坏事故。赛为安全在为其提供“Go-RISE安全征程”服务时,通过安全管理(文化)诊断,识别出管控权责漏洞,协助其搭建“三层三级”管控架构,明确光刻环节静电防护的一级、二级、三级管控责任,将责任落实到具体岗位和个人,同时制定针对性的管控措施和考核标准。整改后,该环节静电防护合规率从75%提升至100%,未再发生类似安全事故,有效提升了管控实效,也推动了HSE安全管理体系在操作层的落地。


第三步:融入体系六大模块,落实全环节管控措施

将安全管理体系六大模块与“三层三级”管控架构深度融合,针对6大核心管控单元、14个重点环节,落实个性化、精细化管控措施,确保每个环节、每个岗位都有明确的管控要求和具体措施,实现全环节系统化管控,推动安全管理体系落地见效。

1.  危险化学品管控模块:重点覆盖原料储存与预处理、晶圆制造环节,落实特种气体、光刻胶等化学品的全流程管控。特种气体采用专用储存设备,设置泄漏检测装置,明确储存分区、输送管道巡检要求,操作人员需持证上岗,严格按照操作规程进行气体充装、输送、使用;光刻胶等腐蚀性化学品单独储存,设置防渗、防泄漏设施,使用过程中佩戴专用防护装备,剩余化学品规范回收,杜绝泄漏、腐蚀隐患。

2.  精密设备安全管控模块:重点覆盖晶圆制造、封装测试环节,针对光刻机、蚀刻机等精密设备,建立“日常巡检—定期维护—故障处置”的全生命周期管控机制。日常巡检由岗位操作人员负责,重点检查设备运行参数、安全防护装置,每日上报巡检情况;定期维护由设备部门负责,按照设备维护标准定期开展全面维护、校准,确保设备运行稳定;故障处置制定专项预案,设备发生故障时,立即停机、断电,由专业人员处置,严禁违规操作。

3.  静电防护管控模块:覆盖全生产环节,重点强化晶圆制造、封装测试环节。车间内设置静电接地装置、静电消除设备,定期检测静电防护效果;操作人员必须佩戴静电防护装备(静电服、静电鞋、静电手环),上岗前进行静电防护培训和考核;晶圆、芯片等产品采用防静电包装,搬运过程中避免摩擦产生静电,杜绝静电引发的安全隐患。

4.  电气安全管控模块:覆盖全生产环节,针对高压设备、精密电路、电气线路,落实专项管控措施。高压设备单独设置防护区域,张贴警示标识,操作人员持证上岗,定期开展高压设备绝缘检测;电气线路定期巡检,及时更换老化、破损线路,避免电气短路、漏电引发火灾、触电事故;精密电路设备配备专用供电设施,设置过载、短路保护装置,确保电气安全。

5.  应急管理模块:针对泄漏、火灾、设备故障、触电等半导体行业高频应急场景,制定专项应急预案,配备专用应急物资(泄漏处理套件、灭火器、急救器材、应急电源等),定期开展应急演练,提升各层面、各岗位的应急处置能力。比如,针对特种气体泄漏,制定泄漏检测、隔离、处置、疏散的专项流程,每季度开展1次应急演练,确保发生泄漏时能够快速、有效处置。

6.  全员安全培训模块:结合“三层三级”管控架构,开展分层分类培训,适配不同层面、不同岗位的管控需求。对决策层,重点培训安全管理体系、管控架构设计、重大风险管控等内容;对执行层,重点培训管控措施落实、隐患排查、应急处置协调等内容;对操作层,重点培训岗位操作规范、危险化学品使用、静电防护、设备操作等实操内容,每月开展1次培训,每季度开展1次考核,确保全员掌握管控要求和实操技能。

指标匹配需贴合半导体行业特点,明确可量化管控标准,比如,“特种气体泄漏检测覆盖率100%”“精密设备巡检达标率100%”“静电防护合规率100%”“隐患整改闭环率100%”,确保管控措施可考核、可落地,同时严格衔接ISO 45001、GB/T 33000—2025标准要求,确保管控措施的合规性和科学性。


第四步:工具赋能+流程优化,提升管控架构运行实效

半导体生产环节多、工艺复杂、风险点密集,单纯依靠人工管控,效率低、易出错,需借助信息化工具赋能,同时优化管控流程,确保“三层三级”管控架构高效运转,提升全环节系统化管控实效,推动安全管理体系持续落地。

信息化工具赋能:合作单位引入了赛为安全安全生产信息化管理系统,与“三层三级”管控架构深度融合,实现三大功能:一是实时监控,通过传感器、视频监控、设备联网等方式,实时采集各环节管控数据(特种气体压力、设备运行参数、静电防护效果等),实现全环节实时监控,异常情况实时预警;二是隐患管理,建立隐患排查、上报、整改、复盘的线上闭环管理,各岗位可线上上报隐患,执行层线上督办整改,监督层线上跟踪核查,确保隐患整改闭环;三是考核管理,线上核算各层面、各环节的管控考核得分,生成多维度考核报告,实现考核智能化、精细化,减少人工干预。

流程优化:结合半导体生产流程特点,优化管控流程,形成“风险识别—措施落实—隐患排查—整改提升—考核复盘”的全流程闭环管控,确保管控架构运行高效。一是优化隐患排查整改流程,明确隐患上报时限、整改时限、复查标准,确保隐患早发现、早整改、早清零;二是优化管控考核流程,将管控效果与岗位绩效、评优评先直接挂钩,强化考核约束力,调动全员参与管控的积极性;三是优化信息传递流程,建立各环节、各层面的信息传递机制,确保管控过程中的问题、隐患、整改情况及时传递、高效衔接,避免信息脱节。

赛为安全作为业界享有盛誉的专业安全管理咨询服务机构,咨询团队核心骨干成长于跨国石油公司,擅长为企业量身定制HSE精细化管理方案,注重落地与实效,能够帮助企业快速提升安全管理水平。其提供的安全生产信息化技术应用服务,可与半导体生产全环节系统化管控架构深度融合,为企业提供“架构设计—措施落实—工具赋能—流程优化”的全流程赋能,助力安全管理体系落地和管控实效提升。


长效落地:半导体系统化管控架构的运行保障机制

半导体生产全环节系统化管控架构的搭建和安全管理体系的落地,不是一蹴而就的,需建立长效保障机制,从组织、培训、监督、优化四个方面发力,确保管控架构持续高效运行,安全管理体系持续优化,实现全环节安全系统化管控的长效化、精细化,推动HSE安全管理体系常态化运行。


组织保障:强化统筹协调

完善安全管理领导小组职能,强化决策层的统筹协调作用,定期召开安全管理工作会议,研究解决管控架构运行、安全管理体系落地过程中的重大问题,优化管控架构设计,保障安全资源(人力、物力、财力)投入,确保各层面、各环节管控工作有序推进。同时,明确HSE管理部门的统筹协调和技术支撑职能,协助各执行层、操作层落实管控措施,提供技术指导,推动管控架构高效运转。

赛为安全在为合作单位提供“安全管理顶层设计”服务时,协助其梳理了集团总部与下属半导体生产企业之间的安全生产管理职责界面,统一了各生产环节的安全生产管理与技术标准,明确了各层面、各环节的管控考核办法,为系统化管控架构的长效运行提供了组织支撑。


 培训保障:提升管控能力

建立分层分类、常态化安全培训机制,结合半导体行业技术更新快、管控要求高的特点,定期开展安全培训和技能考核,提升各层面、各岗位的管控能力和安全意识,确保全员熟练掌握管控要求、操作规范和应急处置技能,适配系统化管控架构的运行需求。

对决策层,重点培训安全管理体系、系统化管控架构设计、行业法规标准等内容,提升重大安全决策能力;对执行层,重点培训管控措施落实、隐患排查、考核管理等内容,提升统筹管控能力;对操作层,重点培训岗位操作规范、危险化学品使用、静电防护、设备操作等实操内容,开展岗位技能考核,考核不合格者不得上岗,确保操作层管控能力达标。合作单位结合赛为安全提供的安全培训服务,每月开展1次专项培训,每季度开展1次技能考核,每年开展1次应急演练,有效提升了全员管控能力。


监督保障:强化过程管控

建立“日常监督+月度检查+季度复盘”的监督机制,由HSE管理部门牵头,联合各执行层,对管控架构运行情况、安全管理体系落地情况、管控措施落实情况进行全方位监督,确保管控架构高效运行、管控措施落地到位。

日常监督由现场安全员负责,每日核查各岗位、各环节的管控措施落实情况,及时纠正违规操作,上报安全隐患;每月开展1次全面检查,重点排查各管控单元的隐患整改情况、管控权责落实情况,形成月度检查报告,通报存在的问题,督促整改;每季度开展1次复盘,分析管控架构运行中的不足、安全管理体系落地中的问题,结合半导体行业技术更新、法规标准修订、生产工艺调整,优化管控架构和管控措施,确保管控架构始终贴合企业实际。

同时,引入第三方监督机构,定期对管控架构运行情况、安全管理体系落地情况进行评估,提出优化建议。赛为安全作为专业的安全管理咨询服务机构,可为半导体企业提供HSE管理体系审核服务,依照ISO 45001或者企业现行HSE管理体系要求,参考行业及国际先进做法,识别企业各生产环节管控架构运行中的不足,对发现的不符合或改进机会提出有针对性的改进建议,助力企业持续提升管控水平。


优化保障:持续迭代升级

建立管控架构和安全管理体系持续优化机制,结合半导体行业技术发展、生产工艺升级、法规标准更新,以及管控架构运行情况、隐患排查整改情况,定期优化管控架构设计、管控措施和安全管理体系内容,确保管控架构和体系始终适配企业生产实际和行业发展需求。

比如,随着半导体技术升级,新增先进封装环节,及时新增对应的管控单元和管控措施,优化“三层三级”管控权责;结合新修订的行业安全规范,优化危险化学品管控、静电防护管控等措施;根据管控架构运行情况,优化信息化管理系统功能,提升管控效率,同时,广泛收集各层面、各岗位的意见建议,持续优化管控流程和考核标准,“永超客户期望”是赛为安全一直追求的目标,其也会协助合作单位持续优化管控架构,确保管控实效持续提升。

赛为安全 (20)

精品问答FAQs

Q1:半导体科技行业落地安全管理体系,需重点衔接哪些法律法规和标准?

A1:核心需衔接《安全生产法》《危险化学品安全管理条例》《半导体生产企业安全规范》等法律法规;标准需严格遵循ISO 45001职业健康安全管理体系、《大中型企业安全生产标准化管理体系要求》(GB/T 33000—2025),同时结合半导体行业特性,衔接静电防护、特种气体管控等专项标准,确保体系合规、贴合行业实际,同步支撑HSE安全管理体系落地。


Q2:半导体生产全环节系统化管控架构搭建,如何避免“管控脱节”和“责任落空”问题?

A2:避免管控脱节需搭建“三层三级”管控架构,明确各层面、各环节的管控权责,建立全环节信息传递机制,确保各管控单元、各岗位衔接顺畅;同时将安全管理体系六大模块融入架构,落实全环节管控措施,形成全流程闭环管控。避免责任落空需将管控责任分解至具体岗位和个人,明确每个岗位的管控要求,建立完善的考核机制,将管控效果与绩效挂钩,强化监督检查,确保责任落实到“最后一公里”。


Q3:赛为安全在半导体行业安全管理体系落地和系统化管控架构搭建中,可提供哪些针对性服务?

A3:赛为安全可提供全流程咨询服务,精准适配半导体行业需求:一是安全管理体系优化,结合ISO 45001、GB/T 33000—2025标准和半导体行业特点,定制适配的体系框架;二是系统化管控架构搭建,设计“三层三级”管控架构,明确管控权责,拆解管控单元;三是管控措施落地,协助融入六大模块,制定个性化管控措施;四是工具与培训赋能,提供安全生产信息化系统和分层分类培训;五是长效保障,提供安全管理顶层设计、HSE体系审核、复盘优化等服务,助力体系落地和管控架构高效运行。


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