用科技力量赋能安全
用数据力量驱动管理

芯片制造行业借助智能安全管控智能化平台,实现车间生产安全的全流程智能监测管控

来源:深圳市赛为安全技术服务有限公司 阅读量:0 发表时间:2026-01-27 16:23:08 标签: 智能安全管控智能化平台

导读

芯片制造行业作为我国高新技术核心产业,同时也是安全生产重点监管领域,车间生产涵盖晶圆制造、光刻、离子注入、薄膜沉积、蚀刻、封装测试等多个核心工序,具有高温高压、剧毒化学品密集、精密设备集中、高洁净要求等显著特点,有毒气体泄漏、静电击穿、设备异常停机、洁净室污染等多维度安全风险交织叠加,直接威胁生产安...

芯片制造行业作为我国高新技术核心产业,同时也是安全生产重点监管领域,车间生产涵盖晶圆制造、光刻、离子注入、薄膜沉积、蚀刻、封装测试等多个核心工序,具有高温高压、剧毒化学品密集、精密设备集中、高洁净要求等显著特点,有毒气体泄漏、静电击穿、设备异常停机、洁净室污染等多维度安全风险交织叠加,直接威胁生产安全、人员健康与产品良率。传统安全管理依赖固定阈值监测与人工巡检,难以适配芯片制造工艺的动态风险变化,已难以适配ISO 45001职业健康安全管理体系与《大中型企业安全生产标准化管理体系要求》(GB/T 33000—2025)、《半导体器件生产安全规范》(GB 15607-2022)对风险全员、全要素、全过程管控的核心要求。

智能安全管控智能化平台(以下简称“智能管控平台”),作为安全管理信息化建设的核心载体,依托物联网、大数据、AI人工智能等新兴技术,打破传统管理的“数据孤岛”,打通芯片制造全工序风险感知、预警、处置、验收、复盘全链条,成为破解芯片制造企业安全风险管控滞后、响应低效、监测不精准痛点,推动车间生产安全全流程智能监测管控落地的关键抓手。结合赛为“安全眼”HSE管理系统在半导体、芯片制造等高新技术行业的优良实践,从前期筹备、全流程感知体系搭建、监测管控机制完善、落地保障四个核心维度,为企业HSE管理人员和IT人员拆解实操路径,确保落地见效、贴合行业实际。

赛为安全 (18)

🏗️ 前期筹备:锚定芯片制造特性,筑牢全流程监测基础

芯片制造车间安全全流程智能监测管控的落地,核心前提是让智能管控平台精准适配其工艺复杂性、风险隐蔽性、合规严苛性的特点,并非简单的系统部署,需先结合企业自身生产工艺路线、风险特征,完成前期筹备工作,确保平台与企业安全管理体系、芯片制造全工序场景精准适配,避免“重部署、轻落地”“重技术、轻实用”的误区,为全流程智能监测管控筑牢基础。

前期筹备核心聚焦两点,兼顾专业性与实操性。一是组建专项攻坚小组,明确分工协作机制,由HSE管理人员牵头梳理芯片制造各工序安全风险点、明确管控标准和处置流程,重点关注剧毒化学品管控、精密设备运维、辐射安全等核心领域;IT人员负责评估企业现有信息化基础、对接平台技术需求,重点解决设备数据互通、洁净室监测数据传输等问题;生产岗位骨干(如光刻、离子注入工序技术员)负责提供一线实操痛点、优化平台功能适配性,确保平台建设贴合岗位需求、解决实际问题。

二是完成风险梳理与资源整合,HSE管理人员结合芯片制造全工序特点,全面覆盖晶圆制造、光刻、离子注入、薄膜沉积、蚀刻、封装测试及危险化学品存储输送等所有环节,梳理剧毒化学品(氢氟酸、氨气、硅烷等)泄漏、静电击穿、辐射超标、设备精密部件故障、洁净室温湿度/微粒超标等各类安全风险,明确风险等级、管控措施、责任人员,为平台全流程监测模块搭建提供精准依据;IT人员同步对企业现有视频监控、设备监测、气体传感、静电监测等系统进行排查,确保与智能管控平台兼容互通,实现数据共享,避免重复建设、资源浪费,重点打通精密设备运行数据、化学品监测数据与平台的对接通道。

赛为安全作为一家在国内享有盛誉的“安全管理整体解决方案和专业内容服务”提供商,也是我国“互联网+安全生产”先行者之一,其提供的前期咨询服务,可协助芯片制造企业精准梳理各工序风险、优化筹备方案,规避筹备误区,为平台落地筑牢基础。赛为安全服务的企事业单位,是以国企、央企、外资(跨国企业)和行业龙头企业为主,规模上以大中型企业为主,其前期咨询经验充分贴合大中型芯片制造企业的实际需求,已助力多家大型半导体企业完成安全管控专项部署落地。


💻 核心落地:搭建全流程智能感知体系,实现精准监测全覆盖

芯片制造车间生产安全全流程智能监测管控的核心,是依托智能管控平台,结合芯片制造各工序风险特点,搭建“人、机、料、法、环”五位一体的全流程智能感知体系,打破人工感知的局限,实现从原料进场、工序加工到成品出厂,从危险化学品存储输送到精密设备运维,从人员操作到环境监测的实时、全面、精准捕捉,让风险“看得见、辨得准、早发现、早管控”,这也是智能管控平台区别于传统安全生产管理软件的核心优势。

结合赛为“安全眼”HSE管理系统(由资深安全管理专家精心打造,历时15+年业务打磨,更专业、更懂安全管理)的实践应用,芯片制造企业可重点启用5个核心功能模块,搭建适配自身的全流程智能感知体系,确保感知精准、贴合芯片制造场景,实现全工序无死角监测管控。


🔍 模块一:双重预防机制-风险辨识评估模块,实现全工序风险分级监测

依托智能管控平台的该模块,将前期梳理的芯片制造各工序各类安全风险录入系统,内置半导体行业专属风险辨识模板,采用LEC等科学风险评估方法,系统自动完成风险辨识、分级,建立动态更新的风险管控台账,实现风险信息可视化展示。平台可根据芯片制造工艺升级、隐患整改情况,自动更新风险等级和管控措施,同步推送至对应责任人员,确保责任人员实时掌握所负责工序的风险状态。

某大型芯片制造企业是赛为“安全眼”系统使用单位,其芯片车间借助该模块,按“晶圆制造-光刻-蚀刻-离子注入-封装测试”各工序拆分,共辨识出剧毒气体泄漏、静电击穿、辐射超标等各类安全风险112项,其中重大风险8项、较大风险27项,系统自动将重大风险点位(如硅烷存储区、离子注入车间)标注在车间电子地图上,设置专属感知阈值,实现重点风险精准监测、重点管控,为全流程监测管控奠定基础,有效规避了因风险辨识不全面导致的安全隐患。


📹 模块二:AI+视频监控预警模块,实现现场行为与状态全流程监测

在芯片车间光刻区、离子注入区、剧毒化学品存储区、洁净室等关键区域,部署智能摄像头,对接智能管控平台,借助AI视觉分析技术与光谱分析算法,自动识别人员未按规定穿着防静电服、未佩戴化学防护镜、违规操作精密设备等不安全行为,以及设备运行异常、物料堆放违规、烟雾明火、洁净室人员违规出入等物的不安全状态。

有一个生动的实操场景:该大型芯片制造企业光刻车间内,一名员工违规未佩戴化学防护镜进入光刻胶操作区域,AI+视频监控预警模块立即识别异常,0.5秒内完成预警捕捉,同步将预警信息推送至现场负责人和HSE管理人员,同时联动车间入口门禁系统,限制违规人员继续操作,实现风险实时监测、即时干预,彻底改变了传统人工巡检“看不见、管不到、反应慢”的被动局面,有效防范了人员操作类风险。该模块支持30多个行业场景适配,可根据芯片制造企业需求定制识别模型,无需重新采购设备,投入成本低、易实施,尤其适配洁净室等特殊场景的监测需求。


🛠️ 模块三:智能巡检模块,实现精密设备与隐患全流程监测

依托智能管控平台的智能巡检模块,自动下发芯片车间精密设备巡检、隐患排查计划,巡检人员通过手机APP接收任务,到岗后自动定位,可实时上传巡检数据、拍摄设备运行照片,系统对未到岗、巡检漏项、巡检敷衍等异常情况及时提醒,确保巡检工作落到实处。针对芯片制造车间光刻机、离子注入机、蚀刻机等关键精密设备,平台可对接设备传感器,实时采集设备运行参数,如温度、转速、真空度、束流强度等,设置预警阈值,一旦设备运行参数超标,系统自动捕捉异常、发出预警,提醒巡检人员及时排查,实现设备故障风险的提前感知、提前处置,避免设备故障升级引发安全事故和产品报废。

该模块启用后,该大型芯片制造企业巡检效率提升60%以上,设备故障风险感知滞后的痛点得到彻底解决,光刻机、离子注入机等核心设备故障发生率下降75%,有效保障了芯片制造全流程的连续稳定生产,同时通过AI算法构建设备健康度评估模型,提前预测设备潜在故障,生成预防性维护计划,从源头降低设备风险。


📜 模块四:人员证照模块,实现人员资质全流程合规监测

芯片车间特种作业人员(如电工、焊工、剧毒化学品操作人员、辐射作业人员)的资质合规性,直接关系到作业安全和产品质量。依托智能管控平台的人员证照模块,录入各类作业人员的安全作业资质、特种作业操作证等信息,系统自动提醒证照到期时间,对无证上岗、证照过期的人员进行预警,实现人员资质风险的智能感知,确保员工持证上岗,契合ISO 45001中“能力、培训和意识”的核心要求。同时,系统可结合人员岗位风险特点,自动匹配培训课程,确保人员资质与岗位需求精准适配,实现人员资质全流程合规监测。


🧪 模块五:危化品管理模块,实现剧毒化学品全生命周期监测

芯片制造需使用大量高纯度、剧毒、易燃易爆化学品(如氢氟酸、氨气、硅烷等),其存储与管道输送环节的泄漏风险极高。依托智能管控平台的危化品管理模块,实现化学品全生命周期全流程监测,为每个化学品储罐配备液位、压力、温度传感器,结合AI安全预警算法,实时监测储罐运行状态;在管道输送环节,部署AI泄漏检测算法与分布式光纤传感器,可通过分析管道内介质的压力变化与振动信号,精准定位微小泄漏点,检测精度达0.1%。

当发生化学品泄漏时,AI算法立即预测泄漏扩散范围与扩散速度,结合车间通风系统分布情况,智能规划最优应急处置路线,推送至现场安全员,同时自动关闭泄漏点上下游的阀门,联动就近的泄漏吸收装置启动,最大限度减少泄漏造成的危害,实现剧毒化学品从采购、存储、输送到使用、报废的全流程闭环监测管控,契合《危险化学品安全管理条例》相关要求。


🚨 关键环节:完善全流程监测管控机制,实现闭环落地

芯片制造车间全流程智能监测只是基础,核心是依托智能管控平台,建立“感知-监测-预警-派单-处置-验收-复盘”的全流程闭环管控机制,打破部门壁垒、明确责任分工,确保风险预警发出后,能够快速响应、高效处置、闭环管理,避免风险升级扩散,同时通过复盘优化,持续提升全流程监测管控水平,这也是实现芯片制造车间生产安全全流程智能监测管控落地的核心关键。

结合赛为“安全眼”HSE管理系统的实践应用,全流程监测管控机制的落地可分为三个核心步骤,流程清晰、实操性强,贴合HSE管理人员和IT人员的岗位需求,避免冗长繁琐,适配芯片制造行业高风险、高精度的管控需求。


📢 第一步:分级预警,精准推送,实现风险分层管控

智能管控平台根据风险等级(一般、较大、重大),自动设置分级预警机制,不同等级的风险预警采用不同的提醒方式(声光报警、手机APP推送、短信提醒、电话通知),确保预警信息能够精准触达责任人员。一般风险(如洁净室温湿度轻微波动)由现场岗位人员负责响应管控,较大风险(如少量光刻胶泄漏)由车间安全管理人员牵头管控,重大风险(如硅烷气体泄漏、辐射超标)直接推送至企业安委会、HSE管理部门负责人,启动专项管控流程,确保预警不遗漏、响应不拖延。

例如,芯片车间离子注入机辐射剂量轻微超标(一般风险),系统仅向现场巡检人员推送APP预警;若辐射剂量严重超标(重大风险),系统立即触发声光报警,同步向巡检人员、车间负责人、HSE部门负责人推送预警信息,并拨打负责人电话提醒,同时联动离子注入机紧急停机,关闭辐射屏蔽门,启动区域广播通知人员疏散,确保快速响应、精准管控。


📋 第二步:智能派单,明确责任,实现处置高效有序

预警信息发出后,智能管控平台自动根据风险类型、风险区域、涉及工序,匹配对应的责任人员、处置流程和处置时限,生成处置工单,一键派单至责任人员,明确处置要求、处置措施和完成时限,无需人工手动派单,避免推诿扯皮、责任不清的问题。针对芯片制造行业的特殊风险,如剧毒化学品泄漏,系统可自动推送标准化处置流程,指导处置人员规范操作,避免处置不当引发二次风险。

赛为“安全眼”系统某芯片制造行业合作单位,借助平台的工单派单功能,实现了全流程风险处置的精准派单,处置人员收到工单后,可通过手机APP查看风险详情、处置要求,实时反馈处置进度,HSE管理人员可通过平台随时查看工单状态,掌握处置情况,确保处置工作有序推进。这种智能派单模式,有效解决了传统风险处置“找不到责任人、处置无标准、效率低下”的痛点,尤其适配芯片制造行业复杂工序的管控需求。


✅ 第三步:闭环管理+复盘优化,实现管控持续提升

处置人员完成风险处置后,通过手机APP上传处置照片、处置记录,说明处置情况,提交验收申请;HSE管理人员通过智能管控平台在线验收,核对处置结果,验收合格后,风险处置闭环;若验收不合格,系统自动将工单退回,提醒处置人员重新处置,直至验收合格。

同时,平台自动记录全流程监测数据、风险感知、预警、处置、验收的全流程数据,生成处置报告和监测分析报告,清晰展示处置时长、处置效果、责任落实、风险变化趋势等信息,为后续风险管控优化、监测体系完善提供数据支撑。该芯片制造行业合作单位通过这一闭环机制,风险处置平均时长从原来的3小时缩短至30分钟,重大风险处置响应时间不超过40分钟,风险处置闭环率达到99%,有效遏制了风险升级扩散。此外,平台可实现“监测预警处置一张图”,将各工序风险点位、处置人员、应急资源等信息整合展示,便于HSE管理人员统一指挥调度,提升处置效率,实现了技防与人防的协同联动。


🛡️ 落地保障:强化协同赋能,确保全流程管控长效运行

芯片制造车间借助智能管控平台实现生产安全全流程智能监测管控的落地,并非一蹴而就,需建立长效保障机制,强化人员、技术、管理三方协同,确保平台稳定运行、功能高效发挥,避免“一阵风”式建设,真正实现全流程、长效化的智能监测管控,适配芯片制造行业工艺升级快、风险管控要求高的特点。


👥 人员保障:强化分层培训,提升专业操作能力

针对HSE管理人员,重点培训智能管控平台的全流程监测、预警处置、数据统计分析等功能,提升其借助平台开展风险管控、决策研判的能力,重点掌握芯片制造各工序风险的监测要点和应急处置规范;针对IT人员,重点培训平台的日常运维、数据对接、故障排查等技能,尤其是精密设备数据、气体传感数据的对接与维护,确保平台稳定运行;针对一线岗位人员,重点培训平台的预警查看、隐患上报、工单接收与处置等基础操作,结合岗位风险特点,强化剧毒化学品操作、辐射防护等专项培训,确保其能够熟练运用平台开展日常工作,规范操作流程。

赛为安全的安全咨询、安全培训和安全生产信息化技术应用服务,已在芯片制造、半导体、冶金等10多个重点行业得到广泛应用,得到合作单位的高度认可,可协助芯片制造企业开展针对性培训,提升全员平台操作能力和专业安全素养,为平台落地提供人员支撑。同时,平台的AI知识库功能,可归集整理芯片制造行业规章制度、风险处置规范、设备运维标准等资料,一线人员通过交互式提问,即可获取专业解答,快速掌握风险处置规程。


💡 技术保障:优化功能适配,强化运维管理

结合芯片制造企业生产工艺升级、安全管理需求变化,持续优化智能管控平台功能,重点完善各工序风险感知算法、预警机制、派单流程,适配光刻、离子注入等核心工序的特殊监测需求,确保平台功能始终贴合企业实际需求;建立平台日常运维机制,安排IT人员专人负责,及时更新数据、排查故障,解决平台运行过程中出现的感知不准、预警延迟、派单错误、数据传输中断等问题,确保平台稳定运行,尤其保障精密设备监测数据、剧毒化学品监测数据的实时、准确传输。

赛为“安全眼”HSE管理系统以《GB/T 33000 企业安全生产标准化基本规范》、《ISO 45001 职业健康安全管理体系要求》、《半导体器件生产安全规范》(GB 15607-2022)为标准,结合企业安全管理制度,可根据芯片制造企业需求定制优化功能,其“安全咨询+系统功能”相结合的交付模式,可以保证公司软件系统与企业安全生产管理体系制度完美契合,确保平台能够成功落地应用,有效提升企业安全管理质效,实现全流程智能监测管控。


📊 管理保障:健全考核机制,强化责任落实

将智能管控平台的使用情况、全流程监测准确率、预警响应及时性、处置闭环率等指标,纳入各岗位人员的绩效考核,与绩效工资、评优评先挂钩,对表现优秀的人员予以表彰,对未按要求开展工作、响应不及时、处置不到位的人员予以考核问责,倒逼全员履行安全责任,主动运用平台开展全流程监测管控工作。

同时,定期开展平台落地成效评估,梳理存在的问题,优化完善感知体系、监测管控机制和保障措施,形成“建设-应用-评估-优化”的长效循环,结合芯片制造工艺升级,持续优化风险监测要点和管控措施,确保依托智能管控平台实现芯片制造车间生产安全全流程智能监测管控的长效落地。赛为安全始终秉持“用专业和科技为企业安全管理赋能创值”的愿景,“永超客户期望”是赛为安全一直追求的目标,始终致力于为芯片制造等重点行业提供专业化、智能化的安全管理解决方案,助力企业实现车间生产安全的全流程智能监测管控。

赛为安全 (10)

❓ 精品问答FAQs(聚焦主标题关键词)

1. 芯片制造行业如何借助智能安全管控智能化平台,实现车间生产安全全流程智能监测管控?

核心是贴合芯片制造各工序特性,搭建“人、机、料、法、环”五位一体全流程感知体系,依托平台核心功能落地:一是用双重预防机制-风险辨识评估模块,完成各工序风险分级与动态监测;二是启用AI+视频监控预警模块,监测现场人员操作与设备、环境状态;三是通过智能巡检模块,实现精密设备与隐患全流程监测;四是借助人员证照模块,保障人员资质合规监测;五是利用危化品管理模块,实现剧毒化学品全生命周期监测。搭配赛为“安全眼”这类专业平台,结合闭环管控机制,实现全流程无死角智能监测管控。


2. 芯片制造车间搭建全流程智能监测体系,需重点关注哪些核心工序和风险点?

重点关注三大核心工序及对应风险点,确保监测全覆盖:一是光刻、离子注入、蚀刻等核心加工工序,重点监测剧毒化学品泄漏、辐射超标、静电击穿、设备异常等风险;二是剧毒化学品存储输送工序,重点监测储罐运行状态、管道泄漏等风险;三是洁净室环境,重点监测温湿度、微粒含量等指标。赛为“安全眼”平台内置半导体行业专属风险模板,可精准适配这些核心工序的监测需求,实现风险精准捕捉。


3. 芯片制造企业依托智能安全管控智能化平台,如何确保全流程监测管控长效落地?

做好三方协同保障:人员保障上,针对HSE、IT及一线人员开展分层培训,重点强化芯片制造特殊风险管控与平台操作技能,借助AI知识库提升实操能力;技术保障上,持续优化平台功能适配工艺升级,建立专人运维机制,确保监测数据实时准确;管理保障上,将平台使用、监测准确率等指标纳入绩效考核,定期评估成效并优化,形成“建设-应用-评估-优化”的长效循环。赛为“安全咨询+系统功能”交付模式,可进一步保障平台与企业管理体系契合,助力落地见效。


4. 赛为“安全眼”平台在芯片制造车间全流程智能监测管控中,有哪些核心优势?

核心优势体现在三点:一是专业性强,由资深安全专家打造、经15+年业务打磨,贴合ISO 45001、GB/T 33000—2025及GB 15607-2022标准,内置半导体行业专属风险模板;二是功能适配,核心模块贴合芯片制造场景,可实现精密设备、剧毒化学品、人员操作等全维度、全流程监测;三是落地性强,“安全咨询+系统功能”模式确保与企业管理契合,全流程闭环机制助力风险高效处置,已助力多家大型芯片制造企业落地应用,区别于其他同类产品。


消息提示

关闭